VPM-7 SmartPirani ATM 傳感器專為半導(dǎo)體負(fù)載鎖定壓力控制和其他需要準(zhǔn)確測量相對于大氣環(huán)境壓力的真空應(yīng)用而設(shè)計(jì)。與傳統(tǒng)的負(fù)載鎖定傳感器和其他負(fù)載鎖定傳感器解決方案相比，它具有同類更高的性能，測量范圍更廣、精度更高、測量周期更快。SmartPirani ATM 將導(dǎo)熱性皮拉尼熱損失真空計(jì)的可用測量范圍擴(kuò)大了 1-3 倍，從而確立了新的標(biāo)準(zhǔn)。

1E-6 至 1333 mbar 寬測量范圍

MEMS Pirani 和壓電傳感器組合

獨(dú)立于 2 至 1333 mbar 的氣體

用于負(fù)載鎖定壓力控制的大氣切換功能

數(shù)字、模擬和設(shè)定點(diǎn)控制功能

1 RS-232 發(fā)送 / RS-485 (-)

2 RS-232 接收 / RS-485 (+)

3 電源電壓 12-30 VDC

4 電源電壓 -（返回）

5 模擬電壓信號 +

6 模擬電壓信號 - （返回）

7 繼電器 1 NO（常開觸點(diǎn)）

8 繼電器 1 公共端

9 繼電器 1 NC（常閉觸點(diǎn)）

10 繼電器 2 NC（常閉觸點(diǎn)）

11 繼電器 2 公共端

12 繼電器 2 常開（常開觸點(diǎn)）

13 繼電器 3 常開（常開觸點(diǎn)）或模擬輸出 2

14 繼電器 3 公共端

15 繼電器 3 常開（常開觸點(diǎn)）

PRG-WPRS2-15DS-01 RS-232 轉(zhuǎn) USB、15 針 HD D-sub、電源（90 至 230 VAC）

PRG-WPRS4-15DS-01 RS-485 至 USB、15 針 HD D-sub、電源（90 至 230 VAC）

PRG-WPRS2-9DS-01 RS-232 轉(zhuǎn) USB，9 針 D 型超微，電源（90 至 230 VAC）

PRG-WPRS4-9DS-01 RS-485 通訊器 USB，9 針 D 型超微，電源 (90 至 230 VAC)

產(chǎn)地：丹麥

法蘭：DN16KF

傳感器：MEMS Pirani / Piezo / Atm.

傳感器保護(hù)：符合標(biāo)準(zhǔn)

通訊：RS-485

輸出STD：標(biāo)準(zhǔn) 輸出

單位：Torr Torr

設(shè)定點(diǎn)：3 個繼電器

連接器：15p HD D-Sub

測量范圍：1×10^-6 至 1333 mbar（7.5×10^-7 至 1000 Torr)

測量原理 1×10^-6 至 1.5 mbar ：MEMS Pirani 熱導(dǎo)率

測量原理 1.5 至 2 mbar：混合 MEMS Pirani / 壓電讀數(shù)

測量原理 2 至 1333 mbar：MEMS 壓電電阻膜片

精度 1×10^-5 至 9.99×10^-5：讀數(shù)的 25 %

精度 1×10^-4 至 7.99 mbar：讀數(shù)的 5 %

精度 8.00 至 99.9 mbar：讀數(shù)的 1 %

精度 100 至 800 mbar：讀數(shù)的 0.5 %

精度 800 至 1099 mbar：讀數(shù)的 0.25 %

精度 1100 至 1333 mbar：讀數(shù)的 0.5 %

磁滯 1×10^-3 至 10 mbar (ISO19685:2017)：1 %

磁滯 10 至 1333 mbar（ISO19685:2017）：0.1 %

模擬輸出分辨率：16 位 (150 μV)

模擬輸出更新率：124 Hz

響應(yīng)時間（ISO 19685:2017）：<20 ms

溫度補(bǔ)償：+10 至 +50 ℃

固態(tài)繼電器設(shè)定點(diǎn)范圍：5×10^-6 至 1333 mbar（3.75×10^-6 至 1000 Torr）

固態(tài)繼電器觸點(diǎn)額定值：50 V、100 mArms / mADC

固態(tài)繼電器認(rèn)證：UL 認(rèn)可：文件 E76270；CSA 認(rèn)證：證書 1175739；EN/IEC 60950-1 認(rèn)證

工作環(huán)境溫度：-20 至 +50 ℃

介質(zhì)溫度：-20 至 +50 ℃

儲存環(huán)境溫度：-40 至 +120 ℃

烘烤溫度（非工作）：+120 ℃

Max介質(zhì)壓力_Abs：10 bar

安裝位置：任意

保護(hù)等級，EN 60529/A2：2013：IP 40

濕度，IEC 68-2-38：98%，無冷凝

半導(dǎo)體行業(yè)、分析儀器、綠色和可持續(xù)技術(shù)、工業(yè)涂料、航空航天工業(yè)